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中微公司5nm半導(dǎo)體設(shè)備已獲得臺積電訂單

放大字體??縮小字體 發(fā)布日期:2020-04-20
核心提示:除了大家都知道的光刻機(jī),半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)中還需要各種設(shè)備,國內(nèi)的中微半導(dǎo)體設(shè)備公司已經(jīng)能夠生產(chǎn)高端刻蝕設(shè)備,其5nm刻蝕機(jī)已
       除了大家都知道的光刻機(jī),半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)中還需要各種設(shè)備,國內(nèi)的中微半導(dǎo)體設(shè)備公司已經(jīng)能夠生產(chǎn)高端刻蝕設(shè)備,其5nm刻蝕機(jī)已經(jīng)批量生產(chǎn),用于臺積電的5nm生產(chǎn)線中。
 
  中微半導(dǎo)體上周末發(fā)布了2019年財報,全年實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入19.47億元,同比增長18.77%;實(shí)現(xiàn)歸母凈利潤1.89億元,同比增長107.51%。
 
  根據(jù)該公司年報,中微公司開發(fā)的高端刻蝕設(shè)備已運(yùn)用在國際知名客戶65納米到7納米的芯片生產(chǎn)線上。
 
  同時,公司根據(jù)先進(jìn)集成電路廠商的需求,已開發(fā)出5納米刻蝕設(shè)備用于若干關(guān)鍵步驟的加工,并已獲得行業(yè)知名客戶的批量訂單——雖然中微沒有明說,但是這家客戶就是臺積電,也只有他們量產(chǎn)了5nm工藝。
 
  目前公司正在配合客戶需求,開發(fā)新一代刻蝕設(shè)備和包括更先進(jìn)大馬士革在內(nèi)的刻蝕工藝,能夠涵蓋5納米以下刻蝕需求和更多不同關(guān)鍵應(yīng)用的設(shè)備。
 
  在3D閃存領(lǐng)域,中微半導(dǎo)體電容性等離子體刻蝕設(shè)備可應(yīng)用于64層的量產(chǎn),同時根據(jù)存儲器廠商的需求正在開發(fā)新一代能夠涵蓋128層關(guān)鍵刻蝕應(yīng)用以及相對應(yīng)的極高深寬比的刻蝕設(shè)備和工藝。
 
  此外,中微公司的電感性等離子刻蝕設(shè)備已在多個邏輯芯片和存儲芯片廠商的生產(chǎn)線上量產(chǎn)。
 
  根據(jù)客戶的技術(shù)發(fā)展需求,正在進(jìn)行下一代產(chǎn)品的技術(shù)研發(fā),以滿足7納米以下的邏輯芯片、1X納米的DRAM芯片和128層以上的3D NAND芯片等產(chǎn)品的ICP刻蝕需求,并進(jìn)行高產(chǎn)出的ICP刻蝕設(shè)備的研發(fā)。
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